光大证券:ALD设备市场空间广阔

光大证券:ALD设备市场空间广阔

证券时报e公司讯,光大证券研报指出,半导体器件的不断缩小对薄膜沉积工艺提出了更高要求,而ALD技术凭借沉积薄膜厚度的高度可控性...